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杨凡走进厂房大楼没多久,就见到了一楼前台,这里也有一位参与了杨凡内训的保安守护着。
“杨总、沈总,你们好!”保安问候了一声道。
“你也好!”沈梦晴和杨凡点头回道。
说是厂房,其实这里的一切看起来都不像是厂房的样子,干净、明亮、整治,充满了现代化,倒有点像办公楼的感觉。
之前安装设备时,他来过一次,后来试生产的时候,他又来了一次,倒是对这里的布置很熟悉,经过前台,杨凡便直奔一楼的晶圆生产线。
芯片是精密的器件,制造晶圆的过程中是要保持无尘的。杨凡和沈梦晴在更衣室换上无尘服、帽、鞋、手套、口罩等,因为不是很熟练,足足花费了半小时的时间,这还是手脚比较灵活的,手脚笨一点的第一次穿上时,花四十分钟到一个小时的时间也不奇怪。
杨凡换完后,公共区等了一会儿才见到沈梦晴走出更衣室。看着她身穿宽松的无尘服,头戴无尘帽,帽子罩住了她的头发,并且半面脸也被戴着的口罩给遮住了,杨凡差点认不出她来了。不过虽然无尘服有点宽松,杨凡还是能隐隐约约看到她的曲线的。
感叹完沈梦晴的曲线,他们又来到了风淋室,他们必须站在这里,被大风猛吵几秒钟的时间,然后才能真正走进生产车间,据说是为了吹掉衣服上的尘粒。等所有流程都做完,杨凡两人才进到了无尘车间。
晶圆是制造半导体芯片的基本材料,最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。
硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中,硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
首先是硅提纯,将沙石原料放入一个温度约为2000 ℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应,碳与氧结合,剩下硅,得到纯度约为98%的纯硅,不过这种纯度的硅还不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度是非常敏感的,因此对硅还要进行进一步提纯,就是将这种硅再与盐酸进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,其纯度高达999999999%,成为电子级硅。
进到无尘车间,杨凡从第一个工序开始,直接来到了一个圆圆的五人抱大小的电弧炉前,电弧炉的旁边还有一个梯架,梯架有两个位置,此时有两人站在那里,对着电弧炉指指点点,电弧炉的前边也站着几个人,其中一个是操作工作,在忙着操作电弧炉,其他几个则是研究者。
“杨总、沈总,你们来了!”下面的几个人看到了杨凡两人的到来,便打了招呼。
“要不要叫莫工?”其中一位研究员问道。
莫工是公司挖来的专家,对半导体生产设备的研究很有名,曾经长期在米国的应用材料公司任职。应用材料公司是全球最大的半导体设备和服务供应商,主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积、化学气相沉积、电镀、侵蚀、化学机械抛光,测量学和硅片检测等。
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