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第五十三章 设备改造跨越式成功（第3页）

郭逸铭要的，也不是又一批八级技工，他需要的是合格的超精密设备操作人员。

超净车间有了，加工设备重新改进了，几位老师傅和他们的徒弟也掌握了在超净环境下，精密加工的要领，接下来才是对半导体设备的改造。

集成电路制造的光刻、刻蚀、参杂、离子注入、扩散、沉淀、封装等各个主要环节，要说重要，每一个都非常重要。

这些环节是一个完整工艺链上的一环，并且环环相扣，每一个环节所造成的疏漏，都会给下一个工艺流程带来无法弥补的重大损失，降低产品品质，使得良品率大大降低。

各个环节之间的关系，并非相加关系，而是乘积关系！

用公式来表达，就是哪怕每一个环节，成功率都提高到90%，可整个工艺链运行下来，如果有两个主要环节，就是90乘90，最终成功率为81%！

而当环节延伸为三步，那成功率将陡然降至72.9%，四步则更降至65.61%。

由此可见，尽最大努力提升每一个环节的制备成功率，对集成电路制造业的整体提升效果，都具有非常重要的意义。

郭逸铭在仔细分析了国内现在的集成电路制造工艺后，没有一下子拿出什么先进制造设备来。

因为半导体制造设备的提升，是一个涉及到光学、化学、精密制造、自动化等等各个领域的综合运用成果，他不是神仙，无法在瞬间让这些行业类得到全面的提升，只能抓住一点进行突破。

他的突破点，便是将原来重复的手工作业，尽可能采用自动化操作来代替。

手工操作对集成电路的影响可谓是全方面的，不谈人工取件拿件对器件可能造成的污染，首先人的肌肉稳定性、注意力等等方面，和自动设备相比，先天上就居于下风。

哪怕是一个极为出色的操作员，在长期枯燥的重复劳动中，也难免会在不经意间出现误操作。

而且即便是这个操作员注意力非常集中，肌肉控制力超群，可他每一次移动掩膜、推动光刻头之后，都需要重新对准、聚焦，再怎么熟练的操作员，其复位、步进、精确控制的效率也不可能比机器更高。

要想提升集成电路制备品质、生产效率，用自动化仪器代替手工操作，是见效最快、最容易实现的，即便是国内较低的自动化测量、控制水平，也可以使得整体水平出现一个飞跃式跨进。

而且之前，他们已经积累了相当的应用经验。

当初在制造单晶炉控制部件、运动部件上，他们与单晶炉制造厂家、自动化研究所协作，已经积累了丰富的经验，并具有了相当的默契。

郭逸铭他们这次再次与自动化研究所携手，在和上海厂的技术人员进行充分交流之后，对国产的半导体制造设备进行了一次大刀阔斧的改造。

通过不断改进、尝试，设置了大量的传感器、伺服电机、自控程序，根据人工操作采样结果，采用预制步骤的方式，为如何将原来交由人工控制的各种操作尽可能减到最少，他们绞尽脑汁。

这方面，材料所也给与了大力协助。

董老等人得知郭逸铭他们在改进集成电路制造设备的消息以后，对如何实现自动化操作充满了兴趣，很快便也积极投入进来，从技术角度给与了全方面协助。

他们的支持非常关键。

论到对这个时代国内最尖端科技的实现方法，最为权威的部门莫过于材料应用所。

董老他们查阅大量资料，和所里的技术储备，屡屡在郭逸铭他们改造遇到困难的时候，在关键地方提出了合理建议，从而使得他们得以突破技术难关。

郭逸铭提供技术思路、材料所负责提供本时代能够解决的技术、上海设备厂丰富的半导体设备制造经验、何师傅等人的超精密加工能力。

他们亲密无间的合作，让设备改造进度飞快向前。

并且随着进度的提前，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关键技术环节的光刻机设备的改造，做出了全新的改进。

光刻是进行集成电路制造的首要环节，其精度、成功率，可以说直接决定了集成电路制造的品质，和产品良品率高低，重要性无论如何拔高，都不为过。

国内当前的光刻机，还采用的是六十年代的接触式光刻机，在移动掩膜时，不留心就会碰触到光刻胶。

而掩膜上哪怕是出现一个极其细微的损伤，都将给接下来的集成电路制造，带来无可估量的严重后果。

在此之外，国内现在的光刻机紫光照射，是通过透镜聚焦于一点，对局部电路进行光刻之后，再对另一个局部电路进行光刻处理。

对比国外已经流行的伺服电机驱动、紫外光聚焦点对掩膜电路进行扫描式曝光，国内的光刻效率非常低下。

郭逸铭没有兴趣跟在外国人屁股后面，亦步亦趋。

他亲自动手设计，将原来接触式光刻平台，上移之后，通过光学作用，将透镜凝缩的聚焦点，扩张放大后再缩为一条线。